2025-02-23T07:09:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-28110%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T07:09:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-28110%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T07:09:03-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T07:09:03-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики

Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики

Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2010
Series:Наука та інновації
Subjects:
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28110
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну.

Similar Items