Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного...
Збережено в:
| Видавець: | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28110 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-28110 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-281102017-02-25T11:50:05Z Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну. Создан вакуумно-плазменный модуль — специализированная технологическая установка прецизионного размерного травления и многофункциональной ионноплазменной обработки. В основу установки положена двухразрядная система, состоящая из источника высокоселективного плазмохимического травления и источника высокоанизотропного реактивно-ионного травления. Установка предназначена для формирования структур элементной базы наноэлектроники и топологии наноприборов, термоэмиссионных источников, элементов преобразования солнечной и тепловой энергии в электрическую. The vacuum-plasma module — specialized technological unit of precision size etching and multifunction ion-plasma treatment is created. It is based on the two-figure system, consisting of high selective plasma-chemical and high anisotropic reactively-ionic etch sources. The module is intended for the forming of structure element base of nanoelectronics and nanodevice topology, thermal emission sources, elements converting sun and thermal energy into electrical energy. 2010 Article Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin6.03.036 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28110 uk Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| spellingShingle |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Наука та інновації |
| description |
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну. |
| format |
Article |
| author |
Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_facet |
Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_sort |
Руденко, Е.М. |
| title |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_short |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_full |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_fullStr |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_sort |
вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28110 |
| citation_txt |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT rudenkoem vakuumnoplazmovijmodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT korotašív vakuumnoplazmovijmodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT semenûkvf vakuumnoplazmovijmodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT šamrajkp vakuumnoplazmovijmodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki |
| first_indexed |
2023-10-18T17:25:18Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:25:18Z |
| _version_ |
1796141494961176576 |