Ионный инжектор полевого типа

С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионног...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2010
Автори: Возный, В.И., Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Токмань, В.В., Миронец, Е.А., Батура, Е.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2010
Назва видання:Наука та інновації
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28141
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine