Ионный инжектор полевого типа
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионног...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28141 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-28141 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-281412017-02-25T13:06:49Z Ионный инжектор полевого типа Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. Наукові основи інноваційної діяльності С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10⁻¹² А при напряжении экстракции 2—5 кВ. З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5 • 10⁻⁷ Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчатокапілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1—5) • 10⁻¹² A при напрузі екстракції 2—5 кВ. To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about 5 • 10⁻⁷ Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to (1—5) • 10⁻¹² A at 2—5 kV emission voltage is obtained. 2010 Article Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin6.05.072 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28141 ru Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Наукові основи інноваційної діяльності Наукові основи інноваційної діяльності |
| spellingShingle |
Наукові основи інноваційної діяльності Наукові основи інноваційної діяльності Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. Ионный инжектор полевого типа Наука та інновації |
| description |
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10⁻¹² А при напряжении экстракции 2—5 кВ. |
| format |
Article |
| author |
Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. |
| author_facet |
Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. |
| author_sort |
Возный, В.И. |
| title |
Ионный инжектор полевого типа |
| title_short |
Ионный инжектор полевого типа |
| title_full |
Ионный инжектор полевого типа |
| title_fullStr |
Ионный инжектор полевого типа |
| title_full_unstemmed |
Ионный инжектор полевого типа |
| title_sort |
ионный инжектор полевого типа |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Наукові основи інноваційної діяльності |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28141 |
| citation_txt |
Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT voznyjvi ionnyjinžektorpolevogotipa AT storižkove ionnyjinžektorpolevogotipa AT mirošničenkovi ionnyjinžektorpolevogotipa AT tokmanʹvv ionnyjinžektorpolevogotipa AT mironecea ionnyjinžektorpolevogotipa AT baturaea ionnyjinžektorpolevogotipa |
| first_indexed |
2023-10-18T17:25:22Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:25:22Z |
| _version_ |
1796141498254753792 |