Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах
Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимич...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2006
|
| Назва видання: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-50823 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-508232013-11-05T03:04:31Z Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах Косско, И.А. Крючин, А.А. Кравец, В.Г. Мохнюк, А.А. Оберемок, А.С. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимического травления. Досліджено можливість формування інформаційного рельєфу в деяких неметалічних матеріалах, отриманих методом реакційного спікання та гарячого пресування (SiC, SiC+В₄С і Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а також у монокристалічному кремнії. Для отримання мікрорельєфу використано метод плазмохімічного травлення. An opportunity of forming the information relief in certain nonmetal materials obtained by a technique of reaction baking and hot pressing (SiC, SiC+В₄С and Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN) as well as in monocrystalline silicon is investigated. For obtaining a microrelief the plasmochemical etching technique is used. 2006 Article Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос. 1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823 004.85 ru Реєстрація, зберігання і обробка даних Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| spellingShingle |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Косско, И.А. Крючин, А.А. Кравец, В.Г. Мохнюк, А.А. Оберемок, А.С. Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| description |
Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимического травления. |
| format |
Article |
| author |
Косско, И.А. Крючин, А.А. Кравец, В.Г. Мохнюк, А.А. Оберемок, А.С. |
| author_facet |
Косско, И.А. Крючин, А.А. Кравец, В.Г. Мохнюк, А.А. Оберемок, А.С. |
| author_sort |
Косско, И.А. |
| title |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| title_short |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| title_full |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| title_fullStr |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| title_full_unstemmed |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| title_sort |
формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
| publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823 |
| citation_txt |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос. |
| series |
Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| work_keys_str_mv |
AT kosskoia formirovanieinformacionnogorelʹefavnekotoryhnemetalličeskihmaterialah AT krûčinaa formirovanieinformacionnogorelʹefavnekotoryhnemetalličeskihmaterialah AT kravecvg formirovanieinformacionnogorelʹefavnekotoryhnemetalličeskihmaterialah AT mohnûkaa formirovanieinformacionnogorelʹefavnekotoryhnemetalličeskihmaterialah AT oberemokas formirovanieinformacionnogorelʹefavnekotoryhnemetalličeskihmaterialah |
| first_indexed |
2023-10-18T18:15:13Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:15:13Z |
| _version_ |
1796143715479191552 |