Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электр...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Косско, И.А., Крючин, А.А., Панкратова, А.В., Коржинский, Ф.И., Середа, Л.Д., Середа, И.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2006
Назва видання:	Реєстрація, зберігання і обробка даних
Теми:	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50836
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-50836
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-508362013-11-05T03:06:30Z Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии. Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії. An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used. 2006 Article Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос. 1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50836 004.85 ru Реєстрація, зберігання і обробка даних Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
spellingShingle	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Реєстрація, зберігання і обробка даних
description	Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.
format	Article
author	Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В.
author_facet	Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В.
author_sort	Косско, И.А.
title	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_short	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_full	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_fullStr	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_full_unstemmed	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_sort	формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
publishDate	2006
topic_facet	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50836
citation_txt	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.
series	Реєстрація, зберігання і обробка даних
work_keys_str_mv	AT kosskoia formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT krûčinaa formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT pankratovaav formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT koržinskijfi formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredald formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredaiv formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah
first_indexed	2023-10-18T18:15:15Z
last_indexed	2023-10-18T18:15:15Z
_version_	1796143716861214720

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Репозитарії

Схожі ресурси