2025-02-23T03:34:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51765%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:34:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51765%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:34:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:34:05-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅

Рассмотрены принципы построения технологических модулей. Показаны значения контактного сопротивления пленок, полученных с помощью установок электронно-лучевого напыления серии STE EB и установок быстрого термического отжига серии STE RTA....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Александров, С.Б., Крупальник, К.М., Корнилов, Н.А., Кондратьева, Т.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51765
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51765

Similar Items