Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен....
Збережено в:
Дата: | 2011 |
---|---|
Автори: | , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51851 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |