2025-02-23T13:06:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51981%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T13:06:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51981%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T13:06:31-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T13:06:31-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния

Исследованы процессы высококонцентрационной диффузии мышьяка в вакуумированных ампулах, влияния на параметры диффузионных р-n-переходов сверхтонких слоев оксида на кремнии. Обоснован выбор режимов и источника диффузии для создания низковольтных ограничителей напряжения....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Рахматов, А.З., Скорняков, С.Л., Каримов, А.В., Ёдгорова, Д.М., Абдулхаев, О.А., Бузруков, У.М.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Series:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:	Функциональная микро- и наноэлектроника
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51981
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Be the first to leave a comment!

Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния

Similar Items