Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

• Дата: 2009
• Автори: Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Назва видання: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Теми: Материалы электроники
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.