Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52094 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |