Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов....
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52392 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52392 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-523922013-12-31T03:23:28Z Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Технологические процессы и оборудование Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов. 2008 Article Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52392 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов. |
| format |
Article |
| author |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_sort |
Иванчиков, А.Э. |
| title |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_short |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_full |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_fullStr |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_full_unstemmed |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_sort |
методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52392 |
| citation_txt |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT ivančikovaé metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT kiselʹam metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT medvedevaab metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT plebanovičvi metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:18:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:18:24Z |
| _version_ |
1796143857168023552 |