Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода....
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52488 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52488 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-524882014-01-04T03:10:44Z Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. Технологические процессы и оборудование Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода. 2008 Article Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52488 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода. |
| format |
Article |
| author |
Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| author_facet |
Дружинин, А.А. Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
| author_sort |
Дружинин, А.А. |
| title |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_short |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_full |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_fullStr |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_full_unstemmed |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| title_sort |
приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52488 |
| citation_txt |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT družininaa pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT golotavi pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT kogutit pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT saponsv pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov AT hoverkoûm pribornotehnologičeskoemodelirovanieavtoémissionnyhkremnievyhmikrokatodov |
| first_indexed |
2023-10-18T18:18:38Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:18:38Z |
| _version_ |
1796143867181924352 |