2025-02-23T10:27:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52492%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:27:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52492%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:27:46-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T10:27:46-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния

Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Кулинич, О.А., Смынтына, В.А., Глауберман, М.А., Чемересюк, Г.Г., Яцунский, И.Р.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Материалы электроники
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52492
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52492

Similar Items