Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52818 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |