2025-02-23T06:07:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52878%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T06:07:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52878%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T06:07:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T06:07:08-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Дружинин, А.A., Голота, В.И., Когут, И.Т.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52878
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-52878
record_format dspace
spelling irk-123456789-528782014-01-09T03:08:23Z Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров Дружинин, А.A. Голота, В.И. Когут, И.Т. Технологические процессы и оборудование Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии. 2007 Article Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52878 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Дружинин, А.A.
Голота, В.И.
Когут, И.Т.
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.
format Article
author Дружинин, А.A.
Голота, В.И.
Когут, И.Т.
author_facet Дружинин, А.A.
Голота, В.И.
Когут, И.Т.
author_sort Дружинин, А.A.
title Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
title_short Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
title_full Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
title_fullStr Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
title_full_unstemmed Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
title_sort технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52878
citation_txt Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT družininaa tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov
AT golotavi tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov
AT kogutit tehnologiâizgotovleniâavtoémissionnyhkremnievyhkatodovsubmikronnyhrazmerov
first_indexed 2023-10-18T18:19:33Z
last_indexed 2023-10-18T18:19:33Z
_version_ 1796143907666395136

Similar Items