2025-02-23T15:04:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53554%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:04:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53554%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:04:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:04:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Панфилов, Ю.В., Самойлович, М.И., Булыгина, Е.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554

Similar Items