Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов....
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-53554 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-535542014-01-23T03:09:27Z Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. 2005 Article Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. |
| format |
Article |
| author |
Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| author_facet |
Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| author_sort |
Панфилов, Ю.В. |
| title |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_short |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_fullStr |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full_unstemmed |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_sort |
нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554 |
| citation_txt |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT panfilovûv nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT samojlovičmi nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT bulyginaev nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala |
| first_indexed |
2023-10-18T18:21:00Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:21:00Z |
| _version_ |
1796143973147869184 |