2025-02-23T15:35:28-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53609%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:35:28-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53609%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:35:28-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:35:28-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике

Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Белянин, А.Ф., Самойлович, М.И., Ковальский, К.А., Петухов, К.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53609
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53609

Similar Items