Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56256 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |