Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

• Дата: 2013
• Автори: Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Лях-Кагуй, Н.С., Вуйцик, А.М.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
• Назва видання: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Теми: Сенсоэлектроника
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56345
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой обла...