Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании
Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня “атом...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63406 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании / В.В. Рогов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 4. — С. 74-83. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |