2025-02-21T08:44:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-6354%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-21T08:44:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-6354%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-21T08:44:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-21T08:44:26-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Вербицкий, В.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2002
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!