Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
Дата:2002
Автор: Вербицкий, В.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2002
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-6354
record_format dspace
spelling irk-123456789-63542010-03-02T12:01:26Z Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции Вербицкий, В.Г. Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники. 2002 Article Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 1817-9908 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354 681.3 ru Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники.
format Article
author Вербицкий, В.Г.
spellingShingle Вербицкий, В.Г.
Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
author_facet Вербицкий, В.Г.
author_sort Вербицкий, В.Г.
title Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
title_short Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
title_full Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
title_fullStr Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
title_full_unstemmed Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
title_sort математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
publisher Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
publishDate 2002
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354
citation_txt Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT verbickijvg matematičeskaâmodelʹformirovaniâsilicidnyhplenokmetodomionnojbombardirovkiprivstrečnyhpotokahdiffuzantovkgranicamprotekaniâreakcii
first_indexed 2023-10-18T16:34:57Z
last_indexed 2023-10-18T16:34:57Z
_version_ 1796139363276423168

Схожі ресурси