Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсоме...
Збережено в:
Дата: | 2006 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2006
|
Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70229 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |