Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсоме...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2006
|
| Назва видання: | Физика и техника высоких давлений |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70229 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70229 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-702292014-11-01T03:01:23Z Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсометрических измерений и с установленными стандартами по показателям преломления и поглощения для объемного образца. Установлено, что при прочих равных условиях примененное аппаратное решение дает возможность осуществлять измерения оптических параметров поверхности образца с точностью до двух-трех единиц четвертого знака. Показана возможность проведения исследований приповерхностных слоев образцов со сложными поверхностями. The scanning ellipsometer is composed on the basis of a direction gauge with an autocollimation tube. The ellipsometer has been tested by measuring optical parameters of a standard sample from quartz КУ-1. A satisfactory correspondence of the outcomes of the experiment on Bruster reflection to the results of ellipsometric measurements and to established standards on reflection index and index of absorption for a volumetric sample has been obtained. It has been proved that in other equal conditions the applied hardware solution enables to conduct measurements of optical parameters of a sample surface with the precision of 2−3 units of the fourth character. The possibility of research of nearsurface layers of complex samples is demonstrated. 2006 Article Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 78.68.+m http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70229 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсометрических измерений и с установленными стандартами по показателям преломления и поглощения для объемного образца. Установлено, что при прочих равных условиях примененное аппаратное решение дает возможность осуществлять измерения оптических параметров поверхности образца с точностью до двух-трех единиц четвертого знака. Показана возможность проведения исследований приповерхностных слоев образцов со сложными поверхностями. |
| format |
Article |
| author |
Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
| spellingShingle |
Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой Физика и техника высоких давлений |
| author_facet |
Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
| author_sort |
Свиридов, В.В. |
| title |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_short |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_full |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_fullStr |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_full_unstemmed |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_sort |
сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| publishDate |
2006 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70229 |
| citation_txt |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| series |
Физика и техника высоких давлений |
| work_keys_str_mv |
AT sviridovvv skaniruûŝijéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnojtruboj AT radkevična skaniruûŝijéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnojtruboj AT žihareviv skaniruûŝijéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnojtruboj |
| first_indexed |
2023-10-18T18:58:04Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:58:04Z |
| _version_ |
1796145645512294400 |