2025-02-23T22:03:59-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70245%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:03:59-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70245%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:03:59-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T22:03:59-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Шалаев, Р.В., Прудников, А.М., Варюхин, В.Н., Турка, В.Н., Яковец, А.А., Жихарев, И.В., Беляев, Б.В., Грицких, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2006
Series:Физика и техника высоких давлений
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245

Similar Items