Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2006
Автори: Шалаев, Р.В., Прудников, А.М., Варюхин, В.Н., Турка, В.Н., Яковец, А.А., Жихарев, И.В., Беляев, Б.В., Грицких, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2006
Назва видання:Физика и техника высоких давлений
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70245
record_format dspace
spelling irk-123456789-702452014-11-02T03:01:56Z Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N. Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed. 2006 Article Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Gh, 81.60.−j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N.
format Article
author Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
spellingShingle Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Физика и техника высоких давлений
author_facet Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
author_sort Шалаев, Р.В.
title Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_short Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_full Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_fullStr Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_full_unstemmed Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_sort особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
publisher Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
publishDate 2006
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245
citation_txt Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Физика и техника высоких давлений
work_keys_str_mv AT šalaevrv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT prudnikovam osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT varûhinvn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT turkavn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT âkovecaa osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT žihareviv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT belâevbv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
AT grickihva osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovojatmosfere
first_indexed 2023-10-18T18:58:07Z
last_indexed 2023-10-18T18:58:07Z
_version_ 1796145647224619008

Схожі ресурси