Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70699 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-706992014-11-12T03:01:41Z Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. Технология производства Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов". 2003 Article Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699 537.311 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технология производства Технология производства |
| spellingShingle |
Технология производства Технология производства Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов". |
| format |
Article |
| author |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. |
| author_facet |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. |
| author_sort |
Иванчиков, А.Э. |
| title |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_short |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_full |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_fullStr |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_full_unstemmed |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_sort |
методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2003 |
| topic_facet |
Технология производства |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699 |
| citation_txt |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT ivančikovaé metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT kiselʹam metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT medvedevaab metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT plebanovičvi metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT ponomarʹvn metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT šikulove metodyudaleniâpolimernyhzagrâznenijvyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:06Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:06Z |
| _version_ |
1796145691943239680 |