Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70744 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70744 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-707442014-11-12T03:01:41Z Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. Датчики Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур. 2002 Article Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70744 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Датчики Датчики |
| spellingShingle |
Датчики Датчики Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур. |
| format |
Article |
| author |
Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| author_facet |
Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| author_sort |
Адарчин, С.А. |
| title |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_short |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_fullStr |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full_unstemmed |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_sort |
один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Датчики |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70744 |
| citation_txt |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT adarčinsa odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kužnenkovas odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kožitovlv odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kosuškinvg odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:59:12Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:59:12Z |
| _version_ |
1796145696167952384 |