2025-02-22T21:06:58-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70789%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T21:06:58-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-70789%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T21:06:58-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T21:06:58-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем

Показано, что с помощью лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния удается получить высококачественные монокристаллические слои, что позволяет изготавливать в них элементы функциональных микросхем, в частности, датчики Холла....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Искендер-заде, З.А., Касимов, Ф.Д., Исмайлова, С.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технология производства
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70789
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70789

Similar Items