Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентныхпокрытий на термолабильные материалы
Исследованы состав и структура многокомпонентных плёнок, сформированных с помощью вакуумно-дугового источника с локализацией разряда вблизи рабочей поверхности катода, изготовленного из стандартных сплавов. При нанесении в прямом потоке в плёнках сохраняется табличный состав, плотность, электропров...
Saved in:
| Date: | 2014 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Series: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75951 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентныхпокрытий на термолабильные материалы / Л.С. Осипов, Д.Ю. Полоцкий, С.А. Беспалов, М.С. Сницар, В.И. Невмержицкий// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 1. — С. 73-80. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |