2025-02-23T10:13:49-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-75980%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:13:49-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-75980%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:13:49-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T10:13:49-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напылен...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Вьюнов, О.И., Коваленко, Л.Л., Белоус, А.Г., Bohnke, O., Bohnke, C.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Series:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75980
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75980

Similar Items