Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2008
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-76014 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-760142015-10-28T12:15:59Z Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії Литвин, О.С. Литвин, П.М. Прокопенко, І.В. Шеремета, Т.І. На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data. В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных. 2008 Article Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers :07.79.Lh,61.46.-w,68.37.Ps,68.65.-k,81.07.-b,81.16.Ta,82.37.Gk http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії
(АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної
реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних
розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок
скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. |
| format |
Article |
| author |
Литвин, О.С. Литвин, П.М. Прокопенко, І.В. Шеремета, Т.І. |
| spellingShingle |
Литвин, О.С. Литвин, П.М. Прокопенко, І.В. Шеремета, Т.І. Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| author_facet |
Литвин, О.С. Литвин, П.М. Прокопенко, І.В. Шеремета, Т.І. |
| author_sort |
Литвин, О.С. |
| title |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| title_short |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| title_full |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| title_fullStr |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| title_full_unstemmed |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| title_sort |
особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2008 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014 |
| citation_txt |
Особливості топометрії наноструктур
методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. |
| series |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| work_keys_str_mv |
AT litvinos osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí AT litvinpm osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí AT prokopenkoív osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí AT šeremetatí osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí |
| first_indexed |
2023-10-18T19:10:53Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:10:53Z |
| _version_ |
1796146220226314240 |