Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів

Отримані розподіли густини валентних електронів та електронні спектри для плівки Si з покриттям за допомогою методів функціоналу електронної густини та псевдопотенціалу із перших принципів. Показано, що змішане покриття поверхонь плівки Si(100) воднем та молекулами 1-октадецену до концентрації 10% п...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Балабай, Р.М., Чернікова, О.М.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76166
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів / Р.М. Балабай, О.М. Чернікова // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 48–54. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-76166
record_format dspace
spelling irk-123456789-761662015-02-09T03:01:45Z Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів Балабай, Р.М. Чернікова, О.М. Отримані розподіли густини валентних електронів та електронні спектри для плівки Si з покриттям за допомогою методів функціоналу електронної густини та псевдопотенціалу із перших принципів. Показано, що змішане покриття поверхонь плівки Si(100) воднем та молекулами 1-октадецену до концентрації 10% приводить до зміни провідності плівки за рахунок стабілізації рівня Фермі додатковими станами у валентній та забороненій зонах плівки з покриттям. Показано, що пасивація поверхні плівки Si(100) воднем та молекулами 1-октадецену відбувається ще і за рахунок обмежених можливостей приповерхневого руху оксидантів як перпендикулярно так і паралельно поверхні плівки. Полученны распределения плотности валентных электронов и электронные спектры для пленки Si с покрытием с помощью методов функционала электронной плотности и псевдопотенциала из первых принципов. Показано, что смешанное покрытие поверхностей пленки Si(100) водородом и молекулами 1-октадецена в концентрации 10% приводит к изменению проводимости пленки за счет стабилизации уровня Ферми дополнительными состояниями в валентной и запрещенной зонах пленки с покрытием. Показано, что пассивация поверхности пленки Si(100) водородом и молекулами 1-октадецена происходит еще и за счет ограниченных возможностей приповерхностного движения оксидантов как перпендикулярно так и параллельно поверхности пленки. Distributions of the valence electron density and the electronic energy spectrum for the film of Si with coverage are received by the methods of the density functional theory and the first principal psevdopotential. It is observed that the mixed coverage of Si(100) surfaces by hydrogen and molecules of 1-octadecene with the 10% concentration cause a change conductivity of the Si film due to stabilization of the Fermi level by a appearance of additional states in its valence and bandgap. It is observed that the passivation of surface of Si(100) film by hydrogens and molecules of 1-octadecene is realized due to the limited possibilities of the surface perpendicular/parallel motion of oxidizers also. 2011 Article Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів / Р.М. Балабай, О.М. Чернікова // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 48–54. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76166 541.183+537.311.33 uk Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description Отримані розподіли густини валентних електронів та електронні спектри для плівки Si з покриттям за допомогою методів функціоналу електронної густини та псевдопотенціалу із перших принципів. Показано, що змішане покриття поверхонь плівки Si(100) воднем та молекулами 1-октадецену до концентрації 10% приводить до зміни провідності плівки за рахунок стабілізації рівня Фермі додатковими станами у валентній та забороненій зонах плівки з покриттям. Показано, що пасивація поверхні плівки Si(100) воднем та молекулами 1-октадецену відбувається ще і за рахунок обмежених можливостей приповерхневого руху оксидантів як перпендикулярно так і паралельно поверхні плівки.
format Article
author Балабай, Р.М.
Чернікова, О.М.
spellingShingle Балабай, Р.М.
Чернікова, О.М.
Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
Физическая инженерия поверхности
author_facet Балабай, Р.М.
Чернікова, О.М.
author_sort Балабай, Р.М.
title Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
title_short Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
title_full Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
title_fullStr Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
title_full_unstemmed Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
title_sort пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2011
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76166
citation_txt Пасивація поверхні плівкового кремнію органічними моношарами 1-октадецену: розрахунки із перших принципів / Р.М. Балабай, О.М. Чернікова // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 48–54. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT balabajrm pasivacíâpoverhníplívkovogokremníûorganíčnimimonošarami1oktadecenurozrahunkiízperšihprincipív
AT černíkovaom pasivacíâpoverhníplívkovogokremníûorganíčnimimonošarami1oktadecenurozrahunkiízperšihprincipív
first_indexed 2023-10-18T19:11:16Z
last_indexed 2023-10-18T19:11:16Z
_version_ 1796146237523623936