Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

• Дата: 2009
• Автори: Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
• Назва видання: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76542
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів / Л.А. Іващенко, В.І. Іващенко, О.К. Порада, М.В. Карпець, О.О. Бутенко, І.М. Закієв // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 867-875. — Бібліогр.: 10 назв. — укр.

Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан (ГМДС). Вивчено вплив природи прекурсору на фазовий склад, характер міжатомової взаємодії, а також проаналізовано зносостійкість, коефіцієнт тертя при дряпанні діямантовою пірамідкою плівок SіCN, адгезію і шорсткість поверхні плівок. Встановлено, що структура плівок (наноструктура МТХС-плівок і аморфність ГМДС-плівок) суттєво впливає на зносостійкість покриттів SiCN. Аморфні ГМДС-плівки мають у 2 рази нижчу зносостійкість, ніж нанокристалічні МТХС-плівки. Дослідження коливань зв’язків у ГМДС- і МТХС-плівках на основі аналізи інфрачервоних спектрів (FTIR) показало кореляцію між посиленням зв’язків Sі—C в плівках і трибологічними характеристиками. Припускається, що наявність хльору в МТХС-плівках впливає на зниження шорсткости поверхні і пониження коефіцієнту тертя.