2025-02-23T10:27:00-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:27:00-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-76542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:27:00-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T10:27:00-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Series:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76542
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан (ГМДС). Вивчено вплив природи прекурсору на фазовий склад, характер міжатомової взаємодії, а також проаналізовано зносостійкість, коефіцієнт тертя при дряпанні діямантовою пірамідкою плівок SіCN, адгезію і шорсткість поверхні плівок. Встановлено, що структура плівок (наноструктура МТХС-плівок і аморфність ГМДС-плівок) суттєво впливає на зносостійкість покриттів SiCN. Аморфні ГМДС-плівки мають у 2 рази нижчу зносостійкість, ніж нанокристалічні МТХС-плівки. Дослідження коливань зв’язків у ГМДС- і МТХС-плівках на основі аналізи інфрачервоних спектрів (FTIR) показало кореляцію між посиленням зв’язків Sі—C в плівках і трибологічними характеристиками. Припускається, що наявність хльору в МТХС-плівках впливає на зниження шорсткости поверхні і пониження коефіцієнту тертя.

Similar Items