Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів
Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76542 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів / Л.А. Іващенко, В.І. Іващенко, О.К. Порада, М.В. Карпець, О.О. Бутенко, І.М. Закієв // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 867-875. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |