Structural, optical, and electrical properties of ZnO: al prepared by CVD
In this paper we will prepared thin films from transparent conductive oxide(TCO) ZnO pure, and doped for various concentration of aluminum (4,8%) using technique chemical vapor deposition (CVD) at different substrates temperatures (400, 450, 500 °C) on glass substrates. The films were characterized...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76893 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structural, optical, and electrical properties of ZnO: al prepared by CVD / A.D. Pogrebnyak, N.Y. Jamil, A.K.M. Muhammed // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 244–249. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |