Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2000
Автори: Аксьонов, І.І., Білоус, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78212
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine