Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...
Збережено в:
| Дата: | 2000 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78212 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-78212 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-782122015-05-22T19:37:50Z Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення. 2000 Article Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78212 546.25.-162 uk Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення. |
| format |
Article |
| author |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| author_facet |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| author_sort |
Аксьонов, І.І. |
| title |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_short |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_fullStr |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_sort |
вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78212 |
| citation_txt |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT aksʹonovíí vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív AT bílousva vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív |
| first_indexed |
2023-10-18T19:15:56Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:15:56Z |
| _version_ |
1796146445878820864 |