DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
Методами емкостной спектроскопии исследованы процессы эмиссии и захвата электронов радиационными дефектами, введенными облучением быстрыми электронами в гидрогенизированный кремний n-типа, прошедший температурную обработку 300…400ºС. Обнаружена зависимость амплитуды спектра от температуры при примен...
Збережено в:
| Дата: | 2001 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78335 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии / Б.А. Комаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 43-47. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |