DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии

• Видавець: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
• Дата: 2001
• Автор: Комаров, Б.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78335
• Цитувати: DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии / Б.А. Комаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 43-47. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Методами емкостной спектроскопии исследованы процессы эмиссии и захвата электронов радиационными дефектами, введенными облучением быстрыми электронами в гидрогенизированный кремний n-типа, прошедший температурную обработку 300…400ºС. Обнаружена зависимость амплитуды спектра от температуры при применении стандартного метода DLTS. Показано, что характер спектра определяется амфотерными свойствами водородосодержащего дефекта, для которого процессы эмиссии и захвата носителей осуществляются через промежуточное нейтральное метастабильное состояние. Проведена оценка применимости стандартного подхода t = f(Tm) к анализу таких спектров. Отмечено, что для получения достоверной информации необходимо комплексное исследование процессов эмиссии и захвата емкостными методами с привлечением экспериментальных данных, полученных другими методами (эффект Холла, ИК-спектроскопия).