Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке....
Збережено в:
Дата: | 2001 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78356 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |