Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может б...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78421 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 6. — С. 102-106. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |