Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2005
Автори:	Goncharov, A., Demchishin, A., Dobrovolskiy, A., Kostin, E., Panchenko, O., Pavlov, C., Protsenko, I., Stetsenko, B., Ternovoy, E., Brown, I. G.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79058
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-79058
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-790582015-03-26T03:01:50Z Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. Low temperature plasma and plasma technologies We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis. Описуються деякі нові плазмові прилади, основані на використанні принципів плазмооптики та конфігурації плазмової лінзи. Прилади такого типу, що використовують постійні магніти, можуть застосовуватись для іонної обробки та отримання нових матеріалів. Описываются некоторые новые плазменные приборы, основанные на принципах плазмооптики и конфигурации плазменной линзы. Приборы такого типа, в которых используются постоянные магниты, могут применяться для ионной обработки и получения новых материалов. 2005 Article Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg , 52.77.Dq, 52.77.Bn http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79058 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies
spellingShingle	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications Вопросы атомной науки и техники
description	We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis.
format	Article
author	Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G.
author_facet	Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G.
author_sort	Goncharov, A.
title	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
title_short	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
title_full	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
title_fullStr	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
title_full_unstemmed	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
title_sort	plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2005
topic_facet	Low temperature plasma and plasma technologies
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79058
citation_txt	Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT goncharova plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT demchishina plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT dobrovolskiya plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT kostine plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT panchenkoo plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT pavlovc plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT protsenkoi plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT stetsenkob plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT ternovoye plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT brownig plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications
first_indexed	2023-10-18T19:17:51Z
last_indexed	2023-10-18T19:17:51Z
_version_	1796146532759633920

Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

Репозитарії

Схожі ресурси