Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology.
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79281 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79281 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-792812015-03-31T03:02:45Z Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems Aksenov, I.I. Low temperature plasma and plasma technologies This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology. 2002 Article Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79281 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Aksenov, I.I. Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems Вопросы атомной науки и техники |
| description |
This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology. |
| format |
Article |
| author |
Aksenov, I.I. |
| author_facet |
Aksenov, I.I. |
| author_sort |
Aksenov, I.I. |
| title |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| title_short |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| title_full |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| title_fullStr |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| title_full_unstemmed |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| title_sort |
magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79281 |
| citation_txt |
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovii magneticallyfilteredvacuumarcplasmadepositionsystems |
| first_indexed |
2023-10-18T19:18:21Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:18:21Z |
| _version_ |
1796146555510587392 |