Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have sh...
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79362 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79362 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-793622015-04-01T03:02:26Z Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. Элементы ускорителей A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained. Представлено новий прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду. В такому іонному джерелі іони робочого газу використовуються для бомбардування і розпилювання матеріалів, які використовуються як циліндрична мішень. Розпилені атоми іонізуються й екстрагуються іонно-оптичною прискорюючою системою. Випробування показали, що іонний прискорювач може стабільно працювати протягом довгого часу без аніяких проблем і потребує лише заміни розпилюваної мішені. Отримані пучки різноманітних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) змішаних з іонами робочого газу. Представлен новый ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда. В таком ионном источнике ионы рабочего газа используются для бомбардировки и распыления цилиндрической мишени, сделанной из металла или диэлектрического материала. Распыленные атомы могут быть ионизированы и извлечены ионно-оптической ускоряющей системой. Испытания показали, что ионный источник может устойчиво работать в течение длительного времени, которое преимущественно определяется расходом мишени. Получены смешанные ионные пучки, состоящие из различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) и ионов рабочего газа. 2004 Article Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.30.Ex; 52.50.Dg; 52.75.-d http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79362 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Элементы ускорителей Элементы ускорителей |
| spellingShingle |
Элементы ускорителей Элементы ускорителей Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge Вопросы атомной науки и техники |
| description |
A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are
used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be
ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably
for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid
ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained. |
| format |
Article |
| author |
Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. |
| author_facet |
Azarenkov, N.A. Bizyukov, I.A. Kashaba, A.Y. Sereda, K.N. |
| author_sort |
Azarenkov, N.A. |
| title |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_short |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_full |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_fullStr |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_full_unstemmed |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| title_sort |
solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2004 |
| topic_facet |
Элементы ускорителей |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79362 |
| citation_txt |
Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT azarenkovna solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovia solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT kashabaay solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge AT seredakn solidionacceleratorbasedonmagnetronsputteringdischarge |
| first_indexed |
2023-10-18T19:18:32Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:18:32Z |
| _version_ |
1796146564121493504 |