Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems
The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79809 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79809 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-798092015-04-05T03:02:13Z Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. Low temperature plasma and plasma technologies The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics and distribution of temperature in a near surface layer of the target material at heat application to a surface in conditions of low pressures of working gases is described. Описана сильнострумова імпульсна магнетронна розпилювальна система та вивчені режими її роботи. Проведені порівняльні технологічні випробування системи при різних типах розряду: стаціонарному магнетронному, імпульсному магнетронному та імпульсному дуговому. Приведена методика розрахунку динаміки і розподілу температури в приповерхневому шарі матеріалу мішені при підводі тепла до поверхні в умовах низьких тисків робочих газів. Представлена сильноточная импульсная магнетронная распылительная система и изучены режимы ее работы. Проведены сравнительные технологические испытания системы при различных типах разряда: стационарном магнетронном, импульсном магнетронном и импульсном дуговом. Приведена методика вычисления динамики и распределения температуры в приповерхностном слое материала мишени при подводе тепла к поверхности в условиях низких давлений рабочих газов. 2005 Article Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79809 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics and distribution of temperature in a near surface layer of the target material at heat application to a surface in conditions of low pressures of working gases is described. |
| format |
Article |
| author |
Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. |
| author_facet |
Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. |
| author_sort |
Bizyukov, A.A. |
| title |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_short |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_full |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_fullStr |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_full_unstemmed |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_sort |
features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79809 |
| citation_txt |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bizyukovaa featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT kashabaaye featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT romashchenkoev featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT seredakn featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT tarasovik featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT abolmasovsn featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems |
| first_indexed |
2023-10-18T19:19:29Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:19:29Z |
| _version_ |
1796146609752375296 |