Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму
В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7982 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 195-203. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-7982 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-79822010-04-26T12:01:21Z Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму Зиков, О.В. Яковін, С.Д. Дудін, С.В. В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового джерела плазми на базі ВЧ індукційного розряду з подальшим транспортуванням частинок активованого газу безпосередньо до області синтезу. В работе представлены результаты разработки и исследования технологического модуля для реактивного синтеза сложнокомпозиционных соединений типа оксидов и оксинитридов на базе магнетронного и ВЧ индукционного разрядов. Основная идея технологии заключается в сепарации двух процессов: распыления металлической мишени с помощью магнетрона постоянного тока в инертном газе и активации реактивного газа с помощью дополнительного источника плазмы на основе ВЧ индукционного разряда с дальнейшей транспортировкой частиц активированного газа непосредственно к области синтеза. The results of development and research of a technological module for reactive synthesis of complex composite coatings like oxides and nitrides based on DC magnetron and RF inductive discharges are presented in the paper. The basic idea of technology consists in separation of two processes: metal target sputtering using DC magnetron in rare gas and activation of reactive gas by means of additional plasma source based on RF inductive discharge with further transportation of particles of the activated gas immediately to the surface of synthesis. 2009 Article Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 195-203. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7982 533.924 uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового джерела плазми на базі ВЧ індукційного розряду з подальшим транспортуванням частинок активованого газу безпосередньо до області синтезу. |
| format |
Article |
| author |
Зиков, О.В. Яковін, С.Д. Дудін, С.В. |
| spellingShingle |
Зиков, О.В. Яковін, С.Д. Дудін, С.В. Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| author_facet |
Зиков, О.В. Яковін, С.Д. Дудін, С.В. |
| author_sort |
Зиков, О.В. |
| title |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| title_short |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| title_full |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| title_fullStr |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| title_full_unstemmed |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| title_sort |
синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2009 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7982 |
| citation_txt |
Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 195-203. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT zikovov sintezdíelektričnihspoluknabazímagnetronupostíjnogostrumu AT âkovínsd sintezdíelektričnihspoluknabazímagnetronupostíjnogostrumu AT dudínsv sintezdíelektričnihspoluknabazímagnetronupostíjnogostrumu |
| first_indexed |
2023-10-18T16:38:48Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:38:48Z |
| _version_ |
1796139523059482624 |