Structure and stress state of TiN and Ti₀.₅₋xAl₀.₅YxN coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma
The results of investigations of the structure and stress state of TiN and Ti₀.₅₋xAl₀.₅YxN coatings deposited from the filtered vacuum-arc plasma under high voltage pulsed bias potential on the substrate are presented. It was found that axial texture [110] is formed in coatings when pulses potential...
Збережено в:
Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
---|---|
Дата: | 2014 |
Автор: | |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79928 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Structure and stress state of TiN and Ti₀.₅₋xAl₀.₅YxN coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma/ E.N. Reshetnyak // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 159-162. — Бібліогр.: 17 назв. — анг. |